典型加工零件
设备亮点
主要特点
1、 本机器采用硅片自动旋转研磨法的原理为:采用略大于硅片的工件转台,工件通过真空吸盘在工件转台中心,磨轮边缘调整到工件的中心位置,工件和砂轮绕各自的轴线回转,进行切入减薄,砂轮与工作的接触长度、接触面积、切入角不变,研磨力恒定、加工状态稳定,可以避免工件出现中凸和塌边现象。尤其对较薄的工件表现较为明显。
2、上、下研磨主轴均采用气浮轴承结构,定子、转子之间由于没有机械轴承的摩擦力,磨损程度降到了最低,从而确保精度始终保持稳定。
3、气浮轴承阻力较低,允许较高的速度,并能同时保持较低的振动水平。
4、气浮主轴精确的、可重复的运动,使得表面光度达到了非常出色的程度。由于硬度是由贯穿轴承的、始终如一的空气流提供的,转子所经受的、来自外负载的作用力,在其旋转时稳定的分布在所有点上。这一特性与磨削时产生良好的表面光度息息相关。
5、底座采用铸件加大理石,Z轴进给立柱采用大理石,提高机器整体刚性以及机器的稳定性。
技术参数
技术参数
项目 |
型号 |
|||
Sp38 |
Sp50 |
Sp56 |
Sp63-C |
|
电机型式 |
永磁同步 |
永磁同步 |
永磁同步 |
永磁同步 |
额定功率 |
11.5kW |
31kW |
30kW |
30kW |
额定电压 |
380V |
380V |
380V |
380V |
额定电流 |
37A |
60A |
60A |
65A |
额定转矩 |
18N.m |
130N.m |
84N.m |
42N.m |
额定转速 |
7500rpm |
2300rpm |
3000rpm |
6800rpm |
最高转速 |
10000rpm |
3500rpm |
4500rpm |
8000rpm |
轴承 |
滚动轴承 |
滚动轴承 |
滚动轴承 |
滚动轴承 |
润 滑 |
油脂 |
油脂 |
油脂 |
油脂 |
冷却 |
强制水冷 |
强制水冷 |
强制水冷 |
强制水冷 |
安装连接方式 |
立式侧面安装 |
立式侧面安装 |
卧式带法兰 |
立式带法兰 |
轴端接口 |
ф38(1:7.5) |
ф50 |
ф56(1:7.5) |
HSK63-C |
端面跳动 |
≤0.002 |
≤0.002 |
≤0.002 |
≤0.002 |
径向跳动 |
≤0.002 |
≤0.002 |
≤0.002 |
≤0.002 |
使用方式 |
立式/倾斜 |
立式 |
水平 |
立式/倾斜 |
密封方式 |
气密封 |
气密封 |
气密封 |
气密封 |
温度监控 |
KTY+PTC |
KTY+PTC |
KTY+PTC |
KTY+PTC |
动平衡机等级 |
G0.4 |
G0.4 |
G0.4 |
G0.4 |
在线平衡装置 |
选配 |
选配 |
选配 |
选配 |
下一条
下一条