典型加工零件
典型加工零件
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| 硅片 | 石英石玻璃 | 光学玻璃 | 陶瓷 |
设备亮点
设备亮点
1、 本机托盘、下盘、空心轴通过高刚度、高精度的轴承及固定套承载，可以保证极高的托盘端跳;固定套、空心轴等采用内外孔磨削工艺。
2 齿圈抬升形式：新研发了外齿圈抬升机构，抬升精度更高，一致性好，抬升无卡滞现象发生，游星轮运动精度更高，更换抛光垫更方便。
3 游星轮啮合形式：新设计柱销啮合，当内齿圈或者太阳轮齿形磨损时，可快捷拆卸单个柱销更换，无需更换整个内齿圈或者太阳轮，成本低廉，维护更方便。
4 为实现后续工业机器人自动化上下料功能，本机太阳轮部件和下盘驱动部件采用伺服电机控制，配合外齿圈定位装置中的气缸进行上下运动准确定位外齿圈锥形定位销，以及旋转后的二次精确定位，最终配合工业机器人取游星轮和工件上下料时无故障运行。
5 本机供液装置①采取独立供液泵和搅拌泵，确保研磨液充分悬浮不沉淀，供液管路配件一律采用不锈钢材质，管路选用钢丝软管，不易弯曲，流液槽采用封头式结构设计，多达40根出液管路，连接于上盘出液孔，确保研磨液出液均匀，流量大;②供液装置(抛光储液桶)具备冷却功能，用户可根据需要选择接入冷却水(管口规格内径：Φ12)接入冷却水温度≤15℃，压力2Kg/cm2。
技术参数
技术参数
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项目 |
型号 |
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抛光盘尺寸 |
Φ1070xΦ495x45mm |
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上研磨盘转速 |
2-25r/min |
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下研磨盘转速 |
2-50r/min |
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太阳轮转速 |
2-22r/min |
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上盘升降行程 |
450mm |
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齿圈抬升行程 |
30mm |
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最大加工压力 |
350Kg |
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下盘端面跳动允差 |
0.12mm |
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齿圈径向跳动允差 |
0.25mm |
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齿圈端面跳动允差 |
0.25mm |
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太阳轮径向跳动允差 |
0.15mm |
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太阳轮端面跳动允差 |
0.15mm |
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电源 |
三相五线AC380V |
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设备总功率 |
15KW |
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主机尺寸（长×宽×高） |
约1800×1500×2900mm |
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整机重量 |
约3500Kg |
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